我們針對(duì)晶圓制造四大關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供精準(zhǔn)檢測(cè)：

工藝設(shè)備腔體密封檢測(cè)

采用超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，檢測(cè)刻蝕、沉積等設(shè)備反應(yīng)腔體的密封性能，確保工藝環(huán)境的純凈度。

氣體輸送系統(tǒng)密封驗(yàn)證

對(duì)特種氣體管路、接口進(jìn)行全面檢測(cè)，防止氣體泄漏導(dǎo)致的工藝參數(shù)偏移和交叉污染。

真空傳輸系統(tǒng)密封評(píng)估

針對(duì)晶圓傳輸機(jī)械手、真空鎖等部件，評(píng)估其在運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下的動(dòng)態(tài)密封性能，確保傳輸過(guò)程的穩(wěn)定性。

環(huán)境控制系統(tǒng)密封檢測(cè)

對(duì)溫度控制單元、冷卻系統(tǒng)等輔助設(shè)備進(jìn)行密封驗(yàn)證，保障工藝環(huán)境的精確控制。